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定制的SIMS解決方案
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定制系統使用標準的UHV元件 |
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軟體與SIMS工作站上使用的軟體相同 | ||
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3D表徵 | ||
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納米級深度解析度 | ||
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與協力廠商離子槍、電子槍、XPS和其他儀器集成 | ||
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全3D CAD設計和建模 | ||
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在研究和生產整合方面都有經驗 | ||
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定制SIMS解決方案
Hiden 的模組化SIMS系統通過一個DN-150-CF法蘭將SIMS分析添加到真空室中。
Hiden四極杆SIMS光譜儀的低萃取場特性和模組化特性,加上經驗豐富的定制設計團隊,使得專業的表面分析工具得以實現;無論是在現有系統中增加SIMS,還是從頭設計一個完整的儀器。

概述
Hiden產品的模組化特性使我們能夠為特定的應用和地點有效地定制設計儀器。
Hi5雙極性FIB SIMS工具結合了兩個EQS光譜儀,一個收集正離子,另一個收集負離子,DLS-20高品質解析度四極杆,以及協力廠商等離子體FIB,放在一個帶有五軸納米級精密台的振動隔離平臺上。 原位微型機械手電氣連接、樣品加熱和冷卻以及同位素純氣體模組(O18)允許對燃料電池、電池和金屬進行擴散研究。
模組化的SIMS是一個完整的SIMS儀器,位於單個法蘭上(DN150mm及以上),結合了離子槍、EQS光譜儀、電子槍、燈光和攝像模組以及可伸縮的樣品電流監視器。
產品特色 |
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定制系統使用標準的UHV元件 |
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軟體與SIMS工作站上使用的軟體相同 |
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3D表徵 |
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納米級深度解析度 |
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與協力廠商離子槍、電子槍、XPS和其他儀器集成 |
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全3D CAD設計和建模 |
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在研究和生產整合方面都有經驗 |
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