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Modular SIMS


 

 

為您的表面分析室增加高性能的SIMS能力

 

Hiden 的模組化SIMS系統通過一個DN-150-CF法蘭將SIMS分析添加到真空室中。


模組化SIMS是一個完整的SIMS儀器,安裝在單個法蘭上(DN150mm及以上),結合了離子槍、EQS光譜儀、電子槍、燈光和攝像模組以及可伸縮的樣品電流監視器。


 

 

概述

Hiden的模組化SIMS系統通過DN-150-CF法蘭將SIMS分析添加到真空室中。


模組化SIMS是一個完整的SIMS儀器,安裝在一個法蘭上(DN150mm及以上),結合了離子槍、EQS光譜儀、電子槍、燈光和攝像模組以及可伸縮的樣品電流監視器。


模組化SIMS是為快速和簡單地表徵層結構、表面污染和雜質而設計的,對正負離子的敏感檢測由氣體初級離子束輔助,並提供整個週期表的同位素敏感性。 它是我們最簡單和最容易使用的SIMS儀器之一,它具有最高規格儀器的許多功能,如納米級深度解析度。 這使得它成為研究薄膜、腐蝕研究和金屬物種的理想選擇。

 


 

 

 

產品特色

 

 

定制系統使用標準的UHV元件

 

  套裝軟體與所有Hiden SIMS系統使用的軟體一致
 

  3D表徵
 

  納米級深度解析度
 

  與協力廠商離子槍、電子槍、XPS和其他儀器集成
 

  全3D CAD設計和建模
 

  在研究和生產整合方面都有經驗
       

 

 

下載

 
    演講稿:  
  Hi5--同步正負FIB-SIMS  
       
       
   
 

相關產品

 
  EQS  
  IG20  
  IG5C  
       
   

 

為您的表面分析室增加高性能的SIMS能力

 

Hiden 的模組化SIMS系統通過一個DN-150-CF法蘭將SIMS分析添加到真空室中。


模組化SIMS是一個完整的SIMS儀器,安裝在單個法蘭上(DN150mm及以上),結合了離子槍、EQS光譜儀、電子槍、燈光和攝像模組以及可伸縮的樣品電流監視器。

 

 

概述

Hiden的模組化SIMS系統通過DN-150-CF法蘭將SIMS分析添加到真空室中。


模組化SIMS是一個完整的SIMS儀器,安裝在一個法蘭上(DN150mm及以上),結合了離子槍、EQS光譜儀、電子槍、燈光和攝像模組以及可伸縮的樣品電流監視器。


模組化SIMS是為快速和簡單地表徵層結構、表面污染和雜質而設計的,對正負離子的敏感檢測由氣體初級離子束輔助,並提供整個週期表的同位素敏感性。 它是我們最簡單和最容易使用的SIMS儀器之一,它具有最高規格儀器的許多功能,如納米級深度解析度。 這使得它成為研究薄膜、腐蝕研究和金屬物種的理想選擇。

 

 

產品特色

 

定制系統使用標準的UHV元件

 

套裝軟體與所有Hiden SIMS系統使用的軟體一致

 

3D表徵

 

納米級深度解析度

 

與協力廠商離子槍、電子槍、XPS和其他儀器集成

 

全3D CAD設計和建模

 

在研究和生產整合方面都有經驗

     

 

 

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