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EQS SIMS Analyser


 

 

用於分析固體樣品的二級正負離子的系統

 

Hiden Analytical公司為離子分析提供世界級的質譜解決方案和創新工具,包括久經考驗的Hiden EQS。這種高傳輸靜電四極杆二次離子質譜儀(SIMS)是我們最受歡迎的檢測系統之一,用於研究規模的薄膜納米級表面分析。EQS SIMS分析儀是XPS和聚焦離子束FIB顯微鏡系統的理想附加分析儀。


 

 

概述

Hiden EQS是一種獨特的靜電四級杆SIMS檢測器,專門用於固體樣品中正(+ve)和負(-ve)二次離子的質譜分析。憑藉其集成的45°靜電扇形離子能量分析器,Hiden EQS可以同時分析離子能量,解析度為0.2電子伏特(eV)。這使得它成為質譜應用中最通用的離子分析工具之一,包括:

  • 將XPS的靈敏度範圍擴大1000倍以上
  • 動態和靜態SIMS
  • 焦點離子束(FIB)質譜法
  • 二次中性質譜(SNMS)
  • 濺射深度分析
  • 濺射離子和中性品質/能量分析


Hiden Analytical公司的離子分析工具


Hiden EQS是後市場系統的一個流行的螺栓配件,是XPS系統和聚焦離子束FIB顯微鏡系統等的理想補充,它提供了高靈敏度和可選的差分泵,以滿足用戶在一系列應用中的成像、深度分析和質譜要求。


如果您需要更多關於將我們的靜電四極杆SIMS工具整合到您現有的XPS系統、FIB顯微鏡系統中的資訊,或者您需要一個全新的離子分析解決方案,只需今天聯繫Hiden Analytical團隊的成員。

 


 

 

 

產品特色

 

 

高靈敏度的脈衝離子計數檢測器,具有7個十年的動態範圍

 

  光柵控制,用於增強深度剖析和成像,具有集成信號門控功能
 

  45°靜電扇形分析器,以0.05eV增量/0.25eV FWHM掃描能量
 

  離子飛行路徑的最小擾動和所有能量下的恒定離子傳輸
 

  三重過濾四極杆,品質選擇到5000 amu
 

  Penning Gauge和聯鎖裝置提供過壓保護
 

  差壓泵選項用於高壓環境
 

  通過RS232、RS485或乙太網LAN進行MASsoft控制
 

  很容易與現有系統對接
       

 

 

下載

 
    演講稿:  
  同時檢測正負二次離子  
  EQS - 用於FIB的SIMS  
  基於FIB和雙光束顯微鏡的差分泵四級杆SIMS探針--SIMS-19  
  高性能SIMS--用於SIMS的品質和能量分析器--A2  
  高性能SIMS--用於SIMS的品質和能量分析器--A3  
  使用Hiden EQS能量分辨四極杆質譜儀的電子衝擊濺射中性質譜SNMS  
   
 

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  MAXIM  
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  SIMS Workstation  
       
       
       
       
       
   

 

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概述

Hiden EQS是一種獨特的靜電四級杆SIMS檢測器,專門用於固體樣品中正(+ve)和負(-ve)二次離子的質譜分析。憑藉其集成的45°靜電扇形離子能量分析器,Hiden EQS可以同時分析離子能量,解析度為0.2電子伏特(eV)。這使得它成為質譜應用中最通用的離子分析工具之一,包括:

  • 將XPS的靈敏度範圍擴大1000倍以上
  • 動態和靜態SIMS
  • 焦點離子束(FIB)質譜法
  • 二次中性質譜(SNMS)
  • 濺射深度分析
  • 濺射離子和中性品質/能量分析


Hiden Analytical公司的離子分析工具


Hiden EQS是後市場系統的一個流行的螺栓配件,是XPS系統和聚焦離子束FIB顯微鏡系統等的理想補充,它提供了高靈敏度和可選的差分泵,以滿足用戶在一系列應用中的成像、深度分析和質譜要求。


如果您需要更多關於將我們的靜電四極杆SIMS工具整合到您現有的XPS系統、FIB顯微鏡系統中的資訊,或者您需要一個全新的離子分析解決方案,只需今天聯繫Hiden Analytical團隊的成員。

 

 

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高靈敏度的脈衝離子計數檢測器,具有7個十年的動態範圍

 

光柵控制,用於增強深度剖析和成像,具有集成信號門控功能

 

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Penning Gauge和聯鎖裝置提供過壓保護

 

差壓泵選項用於高壓環境

 

通過RS232、RS485或乙太網LAN進行MASsoft控制

 

很容易與現有系統對接

     

 

 

下載

 
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