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- Hiden Analytical
- Surface Analysis
- Compact SIMS
Compact SIMS
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只需要單相電源（低於10A） | ||
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緊湊型SIMS--表面分析的設計上的突破
Hiden 緊湊型SIMS工具是為快速和簡單地表徵層結構、表面污染和雜質而設計的，對正離子的敏感檢測由氧主離子束輔助，並提供整個週期表的同位素敏感性。離子槍的幾何設置為納米級深度解析度和近表面分析提供了理想的條件。
概述
Hiden 緊湊型SIMS工具是為快速和簡單地表徵層結構、表面污染和雜質而設計的，對正離子的敏感檢測由氧主離子束輔助，並提供整個週期表的同位素敏感性。離子槍的幾何形狀經過優化，是納米級深度解析度和近表面分析的理想選擇。
一個旋轉轉盤使10個樣品可以同時裝入幹泵真空室進行測量。該儀器占地面積小，特別容易使用，它擁有與功能齊全的Hiden SIMS工作站系列相同的控制軟體和離子槍系統，提供深度剖面、三維和二維圖像以及質譜資料。MAXIM-600P檢測器是基於高度可靠的Hiden 6毫米三重四極杆品質篩檢程式和脈衝離子檢測。電子槍選項可用於分析絕緣樣品。
除了SIMS，緊湊型SIMS還有一個SNMS設施，對於高濃度元素的量化非常有用，如合金。
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占地面積小 |
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易於使用的佈局 |
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只需要單相電源（低於10A） |
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正面的SIMS和SNMS |
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深度剖析 |
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三維特徵分析和成像 |
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質譜分析 |
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