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Hiden Analytical
我們設計、開發和製造用於高級研究應用和專業過程監測的四極桿質譜儀。
我們的產品範圍包括：用於實時精確氣體分析的系統，多種氣體/蒸氣分析。通過直接測量Plasma離子和離子能量進行診斷。用於超高壓表面科學的SIMS探針，以及蝕刻終點檢測。具有自動分析功能的綜合完整的表面分析SIMS系統。一系列用於催化劑研究的微爐反應器，用於進行溫度編程分析，技術包括TPO/TPD/TPR和TPRx。
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用於真空工藝氣體成分、污染監測和洩漏檢測的原位差壓式氣體分析儀。Learn MoreHPR-30 Series -
HPR-60 MBMS（分子束質譜儀）為分析正（+ve）和負（-ve）離子，以及中性和自由基進行了優化，使其成為等離子體和燃燒分析的強大解決方案。Learn MoreHPR-60 MBMS -
一個雙模式的RGA系統，用於真空診斷和過程監測，無需差分泵。測量殘餘氣體、工藝污染物並提供洩漏檢測。Learn MoreHMT -
EQP系統是用於詳細研究等離子體的品質和能量組合分析儀。EQP系統提供對正負等離子體離子、中性物質和自由基的高靈敏度分析。Learn MoreEQP Series -
PSM系統是品質和能量相結合的分析儀，帶有用於等離子體診斷的線上能量分析儀--確定等離子體化學的關鍵成分和反應動力學。Learn MorePSM -
一個先進的朗繆爾探測器，具有靜態和空間解析度的低壓等離子體主要電參數的測量功能。Learn MoreESPion -
離子研磨探針端點檢測器用於識別多層設備製造中的材料介面--應用包括磁性薄膜、高溫超導體和III-V族半導體。Learn MoreIMP-EPD -
MBE應用中的多源沉積監測。高抗污染目的設計的四極杆，用於沉積率監測、源品質分析和高性能真空診斷。Learn MoreXBS -
集成的UHV溫度程式設計解吸工作站。配有快速樣品裝載鎖、加熱樣品台、三濾四極杆質譜儀和冷卻護罩，以獲得最佳的靈敏度和最小的背景。Learn MoreTPD 工作站