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Hiden Analytical
Hiden Analytical 是英國知名四極桿質譜儀製造商，擁有超過 40 年的技術經驗，專注於先進研究與製程監測領域。產品涵蓋即時氣體分析（Gas Analysis）、殘餘氣體分析（RGA）、催化反應分析、電化學質譜（DEMS/OEMS）、電漿診斷及 SIMS 表面分析等完整解決方案，廣泛應用於半導體、真空科技、材料科學、能源、催化、化工及學術研究。Hiden 以優異的量測靈敏度、模組化設計及高度客製化能力，協助研究人員與工程師深入掌握反應機制與製程狀態，提升研究效率與分析品質。
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用於真空工藝氣體成分、污染監測和洩漏檢測的原位差壓式氣體分析儀。Learn MoreHPR-30 Series -
HPR-60 MBMS（分子束質譜儀）為分析正（+ve）和負（-ve）離子，以及中性和自由基進行了優化，使其成為等離子體和燃燒分析的強大解決方案。Learn MoreHPR-60 MBMS -
一個雙模式的RGA系統，用於真空診斷和過程監測，無需差分泵。測量殘餘氣體、工藝污染物並提供洩漏檢測。Learn MoreHMT -
EQP系統是用於詳細研究等離子體的品質和能量組合分析儀。EQP系統提供對正負等離子體離子、中性物質和自由基的高靈敏度分析。Learn MoreEQP Series -
PSM系統是品質和能量相結合的分析儀，帶有用於等離子體診斷的線上能量分析儀--確定等離子體化學的關鍵成分和反應動力學。Learn MorePSM -
一個先進的朗繆爾探測器，具有靜態和空間解析度的低壓等離子體主要電參數的測量功能。Learn MoreESPion -
離子研磨探針端點檢測器用於識別多層設備製造中的材料介面--應用包括磁性薄膜、高溫超導體和III-V族半導體。Learn MoreIMP-EPD -
數據重播技術，用於預測終點與製程優化 Hiden EP-Replayer 可讓 IMP-EPD 使用者重播先前的蝕刻數據，有助於建立與優化終點檢測配方。透過在演算法式配方模板中定義變數，使用者能即時模擬並優化終點檢測過程。Learn MoreEP-Replayer -
MBE應用中的多源沉積監測。高抗污染目的設計的四極杆，用於沉積率監測、源品質分析和高性能真空診斷。Learn MoreXBS