概述

Hiden EP-Replayer 是 IMP-EPD 使用者的重要工具，可精準重播先前的蝕刻數據，用於微調與優化終點檢測配方。透過在演算法式配方模板中定義變數，使用者能即時重播記錄數據，並根據給定參數可視化預期的終點位置。

 

與即時數據擷取相同，事件日誌 (Events Log) 可追蹤時間戳記、狀態變化與關鍵計數率，而 圖表標記 (Chart Marker) 曲線 則顯示終點進程。這使得使用者能測試並優化不同的終點檢測方法，並充分利用先進的配方模板功能——同時大幅減少晶圓耗用。如此可建立更穩健、可重現且具成本效益的蝕刻製程。

 

EP-Replayer 專為 HAL10 IMP-EPD 系統 無縫整合而設計，可簡化 MASsoft 數據轉換為可重播的檔案。使用者能直接透過 MASsoft 輕鬆調整終點檢測配方，進一步提升檢測精度與製程效率。

 

此外，EP-Replayer 亦可在不連接蝕刻設備的情況下獨立運行，確保工作流程不中斷。這種靈活性讓使用者可在不影響即時製程的前提下，持續優化配方，進而提升便利性與生產力。