離子源 Ionizer 介紹

離子源是質譜儀 (Mass Spectrometer, MS) 的核心元件之一，負責將中性氣體或分子電離成可測量的離子。 Hiden 提供多種離子源設計，能針對不同應用場景（RGA、UHV、MBE、TPD、SIMS 等）提供最佳化解決方案。

產品特點

• 標準 RGA – 適用於一般氣體分析，通用且可靠。
• UHV 低剖面 – 特別適合解吸或 TPD 測試，可貼近樣品表面，提高訊號收集效率。
• 封閉式離子源 (Close Source) – 專為大氣壓氣體分析設計，不適用於超高真空。
• Gas Cross Beam – 標準氣體交叉束配置。
• XBS Cross Beam – 適用於 MBE 腔體，具幾何排列進出口孔，可同時分析與通過前驅氣體束。
• Basic Cross Beam – 傳統排列版本，適合非特定的 MBE 腔體。
• Laser Cross Beam – 支援客製化腔體設計，可利用雷射束進行游離。
• 四透鏡離子光學 (4-lens Ion Optics) – 用於 IDP、PSM、EQP、SIMS 系統，透過電磁聚焦增強訊號。

應用領域

• 殘餘氣體分析 (RGA)
• 解吸與 TPD 測試
• MBE 薄膜成長研究
• 大氣壓氣體分析
• SIMS、EQP、PSM 系統整合

關鍵字 (Keywords)

離子源, Ionizer, RGA Ion Source, Cross Beam, UHV Low Profile, Laser Ionizer, SIMS Ion Source, Hiden

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