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產品專區
ESPion
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產品特色 |
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每秒15次掃描的採集速度，帶有D-O-E介面，可進行自動、半自動或手動分析 |
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Hiden是無源射頻補償的先驅者 | ||
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ESPion是所有市售設備中阻斷阻抗最高的設備 | ||
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在13.56MHz時為4.25MOhm，與100kOhm相比 | ||
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用於高溫等離子體操作的氣冷多導體鏈 | ||
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氣冷式多電感鏈可由用戶更換，以便調諧到其他頻率 | ||
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參考探頭可以補償低頻效應 | ||
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例如：等離子體電位的變化（如陽極氧化室壁）或噪音（如電源） | ||
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ESPion是所有商業探頭中脈衝等離子體規格最快的 | ||
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ESPionSoft包含所有必要的門控電路作為標準配置 | ||
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300、600或915毫米的自動線性驅動選項 | ||
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聯鎖隔離閥、90°探頭、組合線性-旋轉驅動可供選擇 | ||
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自我清潔迴圈，以限制探針尖的污染 | ||
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ESPionSoft通過RS232、RS485或乙太網LAN進行控制 | ||
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用於等離子體診斷的先進朗繆爾探頭
Hiden ESPion探頭對I-V等離子體特性的常規監測提供了與等離子體穩定性和可重複性有關的直接資訊。等離子體參數的自動即時推斷提供了有關等離子體特性的詳細資訊，可用於特性分析和均勻性監測。
概述
ESPion系統採用了Orbital Motion Limited（OML）和Allen Boyd Reynolds（ABR）作為標準的等離子體分析模型。
Hiden自動Z-drive提供了整個等離子體體積的空間解析度測量。標準的Z-drive平移選項是：300、600和900毫米。
產品特色 |
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每秒15次掃描的採集速度，帶有D-O-E介面，可進行自動、半自動或手動分析 |
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Hiden是無源射頻補償的先驅者 |
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ESPion是所有市售設備中阻斷阻抗最高的設備 |
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在13.56MHz時為4.25MOhm，與100kOhm相比 |
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用於高溫等離子體操作的氣冷多導體鏈 |
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氣冷式多電感鏈可由用戶更換，以便調諧到其他頻率 |
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參考探頭可以補償低頻效應 |
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例如：等離子體電位的變化（如陽極氧化室壁）或噪音（如電源） |
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ESPion是所有商業探頭中脈衝等離子體規格最快的 |
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ESPionSoft包含所有必要的門控電路作為標準配置 |
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300、600或915毫米的自動線性驅動選項 |
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聯鎖隔離閥、90°探頭、組合線性-旋轉驅動可供選擇 |
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自我清潔迴圈，以限制探針尖的污染 |
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ESPionSoft通過RS232、RS485或乙太網LAN進行控制 |
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