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EQP Series
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產品特色 |
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軟體控制的離子提取光學系統，使等離子體的擾動最小化 |
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45°靜電扇形分析器，掃描能量為0.05eV增量/0.25eV FWHM | ||
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離子飛行路徑的最小擾動和所有能量下的恒定離子傳輸 | ||
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差分泵三濾四極杆，品質範圍選擇到5000amu | ||
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高靈敏度/穩定性的脈衝離子計數檢測器，有7個十年的動態範圍 | ||
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具有智能掃描功能的氣體/蒸汽質譜庫 | ||
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可調諧的集成電離器，用於外觀電位MS，有電子附著選項 | ||
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Penning Gauge和聯鎖裝置，提供過壓保護 | ||
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用於脈衝等離子體中時間分辨研究的信號門控和可程式設計信號門控選項 | ||
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1000eV選項，最高10keV的浮動選項，用於高密度等離子體的法拉第杯 | ||
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Mu-Metal，放射性金屬遮罩選項，高壓操作選項 | ||
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通過RS232、RS485或乙太網LAN進行MASsoft控制 | ||
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用於等離子體研究的系統
用於表徵等離子體的高性能聯合品質和能量四極杆質譜儀。
EQP-6 300或510amu品質範圍的6毫米三濾四極杆質譜儀，用於廣泛的等離子體研究應用。
EQP-9 基於9毫米三濾四極杆的系統，具有最廣泛的品質選擇範圍。 50到5000amu的選擇，用於高穩定性測量和離子團分析。
EQP-20具有Hiden的20毫米三濾四極杆，I區/H區可切換，峰寬為0.003amu，品質範圍為200amu，具有單位品質解析度，用於氫同位素等離子體的表徵。
概述
Hiden等離子體探測器測量一些關鍵的等離子體參數，並提供與等離子體反應化學有關的詳細資訊。
對等離子體離子和中性物種的反應動力學的詳細瞭解在開發先進的表面工程工藝（如HIPIMS）中起著關鍵作用。
整體電子轟擊離子源提供了對中性物質的分析，並且在增加了EAMS（電子附著質譜）電子附著模式後，可以分離和識別負電子的自由基物種。
所有EQP系列儀器都包括一個高透射45°扇形場能量分析器，用於正負離子能量分析，最高可達1000eV。
EQP系列可提供集成的MCS--多通道標量資料獲取，時間解析度達到50納秒，為脈衝等離子體應用提供快速資料獲取。
產品特色 |
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軟體控制的離子提取光學系統，使等離子體的擾動最小化 |
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45°靜電扇形分析器，掃描能量為0.05eV增量/0.25eV FWHM |
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離子飛行路徑的最小擾動和所有能量下的恒定離子傳輸 |
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差分泵三濾四極杆，品質範圍選擇到5000amu |
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高靈敏度/穩定性的脈衝離子計數檢測器，有7個十年的動態範圍 |
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具有智能掃描功能的氣體/蒸汽質譜庫 |
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可調諧的集成電離器，用於外觀電位MS，有電子附著選項 |
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Penning Gauge和聯鎖裝置，提供過壓保護 |
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用於脈衝等離子體中時間分辨研究的信號門控和可程式設計信號門控選項 |
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1000eV選項，最高10keV的浮動選項，用於高密度等離子體的法拉第杯 |
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Mu-Metal，放射性金屬遮罩選項，高壓操作選項 |
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通過RS232、RS485或乙太網LAN進行MASsoft控制 |
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