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產品專區
HMT
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產品特色 |
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HMT模式用於在5×10-3毫巴的高壓操作（最小可檢測分壓5×10-8毫巴） |
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RGA模式用於在P < 10-4 mbar時的高靈敏度操作（最小可檢測分壓2×10-11 mbar） | ||
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100 amu品質範圍，遠端（PC）通過MASsoft專業PC軟體控制介面 | ||
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100 amu的品質範圍，通過MASsoft Professional PC軟體的遠端（PC）控制介面 | ||
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穩定性（24小時內高度變化小於±1%） | ||
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通過MASsoft軟體控制，通過RS232、USB或通過乙太網LAN控制多個系統 | ||
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快速訪問，混合模式掃描，例如趨勢和類比在多個視窗進行 | ||
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同時即時顯示圖形和表格的趨勢分析資料 | ||
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滑鼠控制下的峰高識別游標 | ||
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即時背景減去，自動品質刻度校準 | ||
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資料匯出為ASCII格式，並可匯出至所有Windows設備 | ||
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動態資料交換設施，用於即時資料傳輸到其他DDE用戶端相容的Windows™應用程式，例如：Excel、SPC-IV統計程序控制軟體 | ||
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一個用於真空診斷和過程監測的雙模式RGA系統
Hiden HMT四極杆質譜儀是一個獨特的雙模式RGA系統，能夠在高達5×10-3mbar的壓力下運行，而不需要差動泵。在這個壓力下的操作是通過一個特別設計的離子源/四極篩檢程式組合和軟體來實現的，該軟體修正了豐度的非線性。獨特的高壓規格使HMT成為過程監測應用的理想選擇。
概述
HMT用於真空工藝分析和殘餘氣體分析，對工藝運行狀況檢查和檢測意外污染物的過程分析至關重要。HMT系統也可以在RGA模式下運行，與傳統的四極RGA相同。雙法拉第/電子倍增器探測器提供10-13mbar範圍內的部分壓力靈敏度。可以監測的典型工藝包括CVD、蝕刻、PECVD和PVD。一個用於故障排除和監測的過程RGA工具。
產品特色 |
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HMT模式用於在5×10-3毫巴的高壓操作（最小可檢測分壓5×10-8毫巴） |
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RGA模式用於在P < 10-4 mbar時的高靈敏度操作（最小可檢測分壓2×10-11 mbar） |
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100 amu品質範圍，遠端（PC）通過MASsoft專業PC軟體控制介面 |
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100 amu的品質範圍，通過MASsoft Professional PC軟體的遠端（PC）控制介面 |
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穩定性（24小時內高度變化小於±1%） |
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通過MASsoft軟體控制，通過RS232、USB或通過乙太網LAN控制多個系統 |
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快速訪問，混合模式掃描，例如趨勢和類比在多個視窗進行 |
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同時即時顯示圖形和表格的趨勢分析資料 |
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滑鼠控制下的峰高識別游標 |
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即時背景減去，自動品質刻度校準 |
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資料匯出為ASCII格式，並可匯出至所有Windows設備 |
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動態資料交換設施，用於即時資料傳輸到其他DDE用戶端相容的Windows™應用程式，例如：Excel、SPC-IV統計程序控制軟體 |
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