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XBS
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產品特色 |
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高靈敏度,增強了從100%到5ppb的檢測能力,品質範圍達到510 amu |
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增強的長期穩定性(24小時內高度變化小於±0.5%) | ||
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橫樑式離子源,橫軸上的光束接受度為+/- 35° | ||
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用於軟電離和外觀電位質譜的離子源控制 | ||
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高品質傳輸的增強靈敏度,自動品質尺規校準 | ||
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2毫米的光束接受孔徑 - 根據使用者的具體應用進行配置 | ||
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通過純射頻預過濾階段增強抗污染能力 | ||
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整體的UHV相容水冷護罩 | ||
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在分子束研究中,檢測極限低至30個離子/秒 | ||
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監測增長速度為1Å/分鐘及以下 | ||
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基於Windows™的MASsoft控制,通過RS232、USB或乙太網LAN進行控制 | ||
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用於MBE沉積應用中的多源監控系統
分子束源需要精確控制,以實現可重複的生產品質的薄膜生長。Hiden的XBS(交叉束源)系統提供了對多個源的原位監測,並有即時信號輸出,以實現對沉積的精確控制。
Hiden的XBS是用於分子束質譜分析的一個很好的工具。

概述
Hiden XBS RC系統是一個四級杆質譜儀,設計用於同時監測多個光束源,其獨特之處在於通過一個橫向於四級杆軸的70°錐體提供光束接受。
光束接受孔為每個特定的處理室源位置單獨配置,製造成可替換的外掛程式,以便在處理室發生變化時進行追溯修改。
XBS系統的高靈敏度和快速資料獲取為控制每秒0.01埃的生長速率提供了信號。
產品特色 |
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高靈敏度,增強了從100%到5ppb的檢測能力,品質範圍達到510 amu |
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增強的長期穩定性(24小時內高度變化小於±0.5%) |
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橫樑式離子源,橫軸上的光束接受度為+/- 35° |
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用於軟電離和外觀電位質譜的離子源控制 |
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高品質傳輸的增強靈敏度,自動品質尺規校準 |
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2毫米的光束接受孔徑 - 根據使用者的具體應用進行配置 |
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通過純射頻預過濾階段增強抗污染能力 |
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整體的UHV相容水冷護罩 |
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在分子束研究中,檢測極限低至30個離子/秒 |
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監測增長速度為1Å/分鐘及以下 |
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基於Windows™的MASsoft控制,通過RS232、USB或乙太網LAN進行控制 |
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