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3F Series / 1000 Series RGA


 

 

一種殘餘氣體分析系統,用於高精度的科學和工藝應用

 

 

HAL 3F RC系統設計用於高精度科學和工藝應用中的氣體分析。


 

 

概述

HAL 3F RC系統設計用於高精度科學和工藝應用中的氣體分析。


三重過濾四極杆最大限度地減少了無用離子的污染,其中前和後射頻篩檢程式的工作頻率與主品質篩檢程式的頻率不同。結合較長的品質篩檢程式和9毫米的寬杆直徑,這使得品質解析度、離子靈敏度、精度/比率測量的穩定性和高品質傳輸率得到提高。

   

 

 

產品特色

 

 

品質範圍50、300、510、1000amu,6毫米和9毫米的鉬柱設計

 

  更高的品質解析度、高品質傳輸率和離子穩定性
 

  全電子能量控制0-150 eV,用於互補的TIMS分析模式
 

  可提供SEM或PIC檢測或可選雙法拉第/SEM或法拉第/PIC模式
       

 

 

下載

 
    演講稿:  
  用於殘餘氣體分析的質譜儀 - RGA | 在真空環境中的應用  
   
海報:
 
  改進的閾值電離質譜儀  
  RGA:最小可檢測分壓9mm 3F/301 PIC - Vacuum Expo 2012  
   
性能資料:
 
  PDS-30004 4He D2比值  
       
   
 

相關產品

 
  EPIC  
  IDP  
  HALO  
  Ion Source Options  
       
       
   

 

一種殘餘氣體分析系統,用於高精度的科學和工藝應用

 

HAL 3F RC系統設計用於高精度科學和工藝應用中的氣體分析。

 

 

概述

HAL 3F RC系統設計用於高精度科學和工藝應用中的氣體分析。


三重過濾四極杆最大限度地減少了無用離子的污染,其中前和後射頻篩檢程式的工作頻率與主品質篩檢程式的頻率不同。結合較長的品質篩檢程式和9毫米的寬杆直徑,這使得品質解析度、離子靈敏度、精度/比率測量的穩定性和高品質傳輸率得到提高。

 

產品特色

 

品質範圍50、300、510、1000amu,6毫米和9毫米的鉬柱設計

 

更高的品質解析度、高品質傳輸率和離子穩定性

 

全電子能量控制0-150 eV,用於互補的TIMS分析模式

 

可提供SEM或PIC檢測或可選雙法拉第/SEM或法拉第/PIC模式

     

 

 

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    演講稿:  
  用於殘餘氣體分析的質譜儀 - RGA | 在真空環境中的應用  
   
海報:
 
  改進的閾值電離質譜儀  
  RGA:最小可檢測分壓9mm 3F/301 PIC - Vacuum Expo 2012  
   
性能資料:
 
  PDS-30004 4He D2比值  
       
   
 
 

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